ASML 去年宣布在中国台湾扩大投资，计划在林口建厂，第一期投资金额达 300 亿新台币，约 2000 名员工入驻。不仅如此，ASML 去年还向台“经济部”提交申请，提出了针对 2 纳米晶圆光学测量设备的研发补助方案，经济部已经受理审查，根据规定，一旦通过审查，政府补助比例不会超过 50%。

　　台“经济部”的“A + 企业创新研发淬炼计划”旨在补助企业进行创新研发和前瞻产业技术开发，每年预算约 20 亿新台币(备注：当前约 4.5 亿元人民币)，该计划吸引了国际大厂来台研发生产，并帮助该地区企业打入前端设备的供应链。